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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁  -  產(chǎn)品中心  -  光機(jī)產(chǎn)品  -  運(yùn)動(dòng)控制/自動(dòng)化

線性/垂直/升降/旋轉(zhuǎn)/角擺位移臺(tái)Lab系列
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

線性/垂直/升降/旋轉(zhuǎn)/角擺位移臺(tái)Lab系列:速度,最?步伐&負(fù)載的均衡之選;全品類超100種基礎(chǔ)運(yùn)動(dòng)模塊,覆蓋絕?多數(shù)使?需求

產(chǎn)品型號(hào):
更新時(shí)間:2026-02-24
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:101
詳細(xì)介紹在線留言

線性/垂直/升降/旋轉(zhuǎn)/角擺位移臺(tái)Lab系列

LS35x.Lab壓電線性位移臺(tái)

產(chǎn)品特色

· 納米級(jí)位置連續(xù)調(diào)節(jié)

· 5nm 最小步伐

· 超高真空,完*無磁版本
· 百萬次全行程耐久測(cè)試

· 可與旋轉(zhuǎn)臺(tái),搖擺臺(tái)等自由堆疊組合

LS35x.Lab壓電線性位移臺(tái)產(chǎn)品尺寸

線性/垂直/升降/旋轉(zhuǎn)/角擺位移臺(tái)Lab系列

LS35x.Lab壓電線性位移臺(tái)選型表


產(chǎn)品參數(shù)

LS35x.Lab        

 LS35x.Lab.E

1

特殊版本

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

.NM,完*無磁版本;

?

2

外形尺寸

35 × 35 × 12 mm

3

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版,.HV,.UHV 不銹鋼:85 g;NM,純鈦;65 g

不銹鋼;85 g

4

運(yùn)動(dòng)行程

20 mm

5

速度范圍

默認(rèn):0.1 μm/s ~ 20 mm/s; .HV & .UHV 版本:0.1 μm/s ~ 2 mm/s

6

驅(qū)動(dòng)力

典型值:2 N ;可選配:4 N

2 N

7

保持力

典型值:3 N ;可選配:5 N

8

水平方向使用*大負(fù)載

1 kg

9

豎直方向使用*大負(fù)載

默認(rèn):100 g,可選配:250 g

10

雙向位置重復(fù)精度

±100 nm

±300 nm

11

全行程俯仰/偏擺

0.3 mrad

12

最小步伐(閉環(huán))

5 nm

100 nm

13

位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

14

位置傳感器分辨率

標(biāo)準(zhǔn)版本 2 nm;.adv 版本 0.5 nm;

50 nm

15

線纜 & 接頭

默認(rèn):屏蔽線纜D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包線,D-Sub15 (PEEK)

16

控制器規(guī)格

MC-Newton.S系列

* 更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。

LS35z.Lab垂直位移臺(tái)產(chǎn)品特色

· 超安靜運(yùn)動(dòng)

· 斷電位置自保持

· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器
· 納米級(jí)分辨率

· 可與旋轉(zhuǎn)臺(tái),搖擺臺(tái)等自由堆疊組合

LS35z.Lab垂直位移臺(tái)產(chǎn)品尺寸

線性/垂直/升降/旋轉(zhuǎn)/角擺位移臺(tái)Lab系列

LS35z.Lab垂直位移臺(tái)選型表

序號(hào)

參數(shù)項(xiàng)

LS35z.Lab

LS35z.Lab.E

1

特殊版本

.HV, 高真空版本;.UHV, 超高真空版本;.NM, 完*無磁版本

2

外形尺寸

35 × 35 × 41 mm

35 × 35 × 41 mm

3

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版.HV, .UHV 不銹鋼: 250 g;.NM, 純鈦,陶瓷: 160 g

不銹鋼;250 g

4

運(yùn)動(dòng)行程

10 mm

10 mm

5

速度范圍

默認(rèn): 0.1 μm/s ~ 10 mm/s;.HV & .UHV 版本:推薦使用 1 mm/s-

6

保持力

7.5 N

7.5 N

7

水平方向使用*大負(fù)載

典型值: 500 g;可選配: 1.5 kg-

8

雙向位置重復(fù)精度

±150 nm

±300 nm

9

全行程俯仰 / 偏擺

0.3 mrad

0.3 mrad

10

最小步代 (閉環(huán))

5 nm

100 nm

11

位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

光學(xué)位置傳感器

12

位置傳感器分辨率

默認(rèn): 2 nm;可選配: 0.5 nm

50 nm

13

線纜 & 接頭

默認(rèn):屏蔽線纜 D-Sub15;.UHV 版本: Kapton 漆包線,D-Sub15 (PEEK)-

14

控制器規(guī)格

MC-Newton.S 系列

MC-Newton.S 系列

* 更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。

LS65x.lab線性位移臺(tái)產(chǎn)品特色

· 超高真空,完*無磁版本兼容

· 百萬次全行程耐久測(cè)試

· 納米級(jí)位置連續(xù)調(diào)節(jié)
· 超精密運(yùn)動(dòng)

· 可與旋轉(zhuǎn)臺(tái),搖擺臺(tái)等自由堆疊組合

LS65x.lab線性位移臺(tái)產(chǎn)品尺寸

線性/垂直/升降/旋轉(zhuǎn)/角擺位移臺(tái)Lab系列

LS65x.lab線性位移臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)

參數(shù)項(xiàng)

LS65x.Lab

LS65x.Lab.E

特殊版本

.HV, 高真空版本;.UHV, 超高真空版本;.NM, 完*無磁版本

外形尺寸

65 × 65 × 13 mm

65 × 65 × 13 mm

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金,鋼:160 g;.HV, .UHV 純鈦,鋼:260 g;.NM, 純鈦,陶瓷:110 g

鋁合金,鋼:160 g

運(yùn)動(dòng)行程

30 mm

30 mm

速度范圍

默認(rèn): 0.1 μm/s ~ 20 mm/s;.HV & .UHV 版本: 0.1 μm/s ~ 2 mm/s

驅(qū)動(dòng)力

典型值: 2 N;可選配: 4 N

保持力

典型值: 3 N;可選配: 5 N

水平方向使用*大負(fù)載

2 kg

豎直方向使用*大負(fù)載

默認(rèn): 100 g;可選配: 250 g

雙向位置重復(fù)精度

± 100 nm

± 300 nm

全行程俯仰/偏擺

0.3 mrad

0.3 mrad

最小步伐 (閉環(huán))

5 nm

100 nm

位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

光學(xué)位置傳感器

位置傳感器分辨率

標(biāo)準(zhǔn)版本 2 nm;adv 版本 0.5 nm

50 nm

線纜 & 接頭

默認(rèn): 屏蔽線纜D-Sub15;.UHV版本: Kapton漆包線, D-Sub15 (PEEK)

控制器規(guī)格

MC-Newton.S系列

* 更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。

LS65z.lab升降位移臺(tái)產(chǎn)品特色

· 超高真空,完*無磁版本兼容
· 百萬次全行程耐久測(cè)試
· 納米級(jí)位置連續(xù)調(diào)節(jié)
· 可與旋轉(zhuǎn)臺(tái),搖擺臺(tái)等自由堆疊組合

LS65z.lab升降位移臺(tái)產(chǎn)品尺寸

線性/垂直/升降/旋轉(zhuǎn)/角擺位移臺(tái)Lab系列

LS65z.lab升降位移臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)

LS65z.Lab

LS65z.Lab.E

1. 特殊版本

.HV,高真空版本;.UHV,超高真空版本;.NM,完*無磁版本

2. 外形尺寸

65 × 65 × 44 mm

65 × 65 × 44 mm

3. 主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金,鋼:310 g;.NM 純鈦,陶瓷:270 g;.HV .UHV 純鈦,鋼:500 g

鋁合金,鋼:310 g

4. 運(yùn)動(dòng)行程

10 mm

10 mm

5. 速度范圍

默認(rèn):0.1 μm/s ~ 10 mm/s;.HV & .UHV 版本:推薦使用 1 mm/s

-

6. 保持力

7.5 N

7.5 N

7. 水平方向使用*大負(fù)載

典型值:500 g;可選配:1.5 kg

-

8. 雙向位置重復(fù)精度

± 150 nm

± 300 nm

9. 全行程俯仰 / 偏擺

0.3 mrad

0.3 mrad

10. 最小步優(yōu)(閉環(huán))

5 nm

100 nm

11. 位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

光學(xué)位置傳感器

12. 位置傳感器分辨率

標(biāo)準(zhǔn)版本 2 nm;.adv 版本 0.5 nm

50 nm

13. 線纜 & 接頭

默認(rèn):屏蔽線纜 D–Sub15;.UHV 版本:Kapon 漆包線,D–Sub15 (PEEK)

-

14. 控制器規(guī)格

MC-Newton.S 系列

MC-Newton.S 系列

* 更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。

LS80z.Lab升降位移臺(tái)產(chǎn)品特色

· 超安靜運(yùn)動(dòng)

· 斷電位置自保持

· 更大負(fù)載能力

· 納米級(jí)分辨率

· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器

· 可與旋轉(zhuǎn)臺(tái),搖擺臺(tái)等自由堆疊組合

LS80z.Lab升降位移臺(tái)產(chǎn)品尺寸

線性/垂直/升降/旋轉(zhuǎn)/角擺位移臺(tái)Lab系列

LS80z.Lab升降位移臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)

LS80z.Lab

1. 特殊版本

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

.NM,完*無磁版本

2. 外形尺寸

80 × 80 × 40 mm

3. 主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金,鋼:720 g;

.HV .UHV 純鈦,鋼:840 g;

.NM 純鈦,陶瓷:640 g

4. 運(yùn)動(dòng)行程

10 mm

5. 速度范圍

默認(rèn):0.1 μm/s ~ 3 mm/s;

.HV & .UHV 版本:推薦使用 0.3 mm/s

6. 保持力

15 N

7. 水平方向使用*大負(fù)載

典型值:1 kg;可選配:3 kg

8. 雙向位置重復(fù)精度

± 150 nm

9. 全行程俯仰 / 偏擺

0.3 mrad

10. 最小步優(yōu)(閉環(huán))

5 nm

11. 位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

12. 位置傳感器分辨率

標(biāo)準(zhǔn)版本 2 nm;.adv 版本 0.5 nm;經(jīng)濟(jì)版本 .E 50 nm

13. 線纜 & 接頭

默認(rèn):屏蔽線纜 D–Sub15;

.UHV 版本:Kapon 漆包線,D–Sub15 (PEEK)

14. 控制器規(guī)格

MC-Newton.S 系列

*更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。

“Lab系列"線性位移臺(tái)一LS105x.Lab產(chǎn)品特色

· 超安靜運(yùn)動(dòng)

· 納米級(jí)分辨率

· 斷電位置自保持

· 更大負(fù)載能力

· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器

· 可與旋轉(zhuǎn)臺(tái),搖擺臺(tái)等自由堆疊組合

“Lab系列"線性位移臺(tái)一LS105x.Lab產(chǎn)品尺寸

線性/垂直/升降/旋轉(zhuǎn)/角擺位移臺(tái)Lab系列

“Lab系列"線性位移臺(tái)一LS105x.Lab產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)

LS105x.Lab

1. 特殊版本

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

.NM,完*無磁版本

2. 外形尺寸

105 × 105 × 20 mm

3. 主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金,鋼:630 g;

.HV .UHV 純鈦,鋼:910 g;

.NM 純鈦,陶瓷:770 g

4. 運(yùn)動(dòng)行程

60 mm(加長(zhǎng)版本*高可至 200 mm)

5. 速度范圍

默認(rèn):0.1 μm/s ~ 20 mm/s;

.HV & .UHV 版本:0.1 μm/s ~ 2 mm/s

6. 驅(qū)動(dòng)力

3 N

7. 保持力

5 N

8. 水平方向使用*大負(fù)載

4 kg

9. 雙向位置重復(fù)精度

±100 nm

10. 全行程俯仰 / 偏擺

0.2 mrad

11. 最小步優(yōu)(閉環(huán))

5 nm

12. 位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

13. 位置傳感器分辨率

標(biāo)準(zhǔn)版本 2 nm;.adv 版本 0.5 nm;經(jīng)濟(jì)版本 .E 50 nm

14. 線纜 & 接頭

默認(rèn):屏蔽線纜 D–Sub15;

.UHV 版本:Kapon 漆包線,D–Sub15 (PEEK)

15. 控制器規(guī)格

MC-Newton.S 系列

* 更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。

“Lab系列"旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)一RS35.Lab產(chǎn)品特色

· 超安靜運(yùn)動(dòng)

· 斷電位置自保持

· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器

· 中空結(jié)構(gòu)

· 納米級(jí)分辨率

· 可與線性臺(tái),搖擺臺(tái)等自由堆疊組合

“Lab系列"旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)一RS35.Lab產(chǎn)品尺寸

線性/垂直/升降/旋轉(zhuǎn)/角擺位移臺(tái)Lab系列

“Lab系列"旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)一RS35.Lab產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)

RS35.Lab

RS35.Lab.E

1. 特殊版本

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

.NM,完*無磁版本

2. 外形尺寸

35 × 35 × 11 mm

35 × 35 × 11 mm

3. 中通直徑

Φ 5 mm

Φ 5 mm

4. 轉(zhuǎn)盤直徑

Φ 33.5 mm

Φ 33.5 mm

5. 主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV:鋼,70 g;

鋼:70 g

.NM:純鈦,陶瓷,90 g

6. 運(yùn)動(dòng)行程

360° 連續(xù)運(yùn)動(dòng)

360° 連續(xù)運(yùn)動(dòng)

7. 速度范圍

默認(rèn):0.0005°/s ~ 45°/s;

.HV & .UHV 版本:推薦使用 4.5°/s

8. *大負(fù)載(底座水平放置)

500 g

500 g

9. 保持力矩

0.05 N·m

0.05 N·m

10. 驅(qū)動(dòng)力矩

0.02 N·m

0.02 N·m

11. 最小步優(yōu)

3 μrad

10 μrad

12. 雙向重復(fù)定位精度

± 7.5 μrad

± 25 μrad

13. 位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

光學(xué)位置傳感器

14. 位置傳感器分辨率

標(biāo)準(zhǔn)版本:0.2 μrad;

3 μrad

經(jīng)濟(jì)版本 .E:3 μrad

15. 線纜 & 接頭

默認(rèn):屏蔽線纜 D–Sub15;

.UHV 版本:Kapton 漆包線,D–Sub15 (PEEK)

16. 控制器規(guī)格

MC–Newton.S 系列

MC–Newton.S 系列

* 更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。

“Lab系列"旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)一RS65.Lab產(chǎn)品特色

· 超安靜運(yùn)動(dòng)

· 中空結(jié)構(gòu)

· 斷電位置自保持

· 納米級(jí)分辨率

· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器

· 可與線性臺(tái),搖擺臺(tái)等自由堆疊組合

RS65.Lab產(chǎn)品尺寸

線性/垂直/升降/旋轉(zhuǎn)/角擺位移臺(tái)Lab系列

“Lab系列"旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)一RS65.Lab產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)

RS65.Lab

RS65.Lab.E

1. 特殊版本

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

.NM,完*無磁版本

2. 外形尺寸

65 × 65 × 13 mm

65 × 65 × 13 mm

3. 中通直徑

Φ 25.4 mm

Φ 25.4 mm

4. 轉(zhuǎn)盤直徑

Φ 62 mm

Φ 62 mm

5. 主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金,鋼:120 g;

鋁合金,鋼:120 g

.HV,.UHV 純鈦,鋼:170 g;

.NM 純鈦,陶瓷:120 g

6. 運(yùn)動(dòng)行程

360° 連續(xù)運(yùn)動(dòng)

360° 連續(xù)運(yùn)動(dòng)

7. 速度范圍

默認(rèn):0.0005 °/s ~ 25 °/s;

.HV & .UHV 版本:推薦使用 2.5 °/s

8. *大負(fù)載(底座水平放置)

1 kg

1 kg

9. 保持力矩

0.1 N·m

0.1 N·m

10. 驅(qū)動(dòng)力矩

0.04 N·m

0.04 N·m

11. 最小步伐

3 μrad

10 μrad

12. 雙向重復(fù)定位精度

± 5 μrad

± 20 μrad

13. 位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

光學(xué)位置傳感器

14. 位置傳感器分辨率

標(biāo)準(zhǔn)版本:0.07 μrad;

2 μrad

經(jīng)濟(jì)版本 .E:2 μrad

15. 線纜 & 接頭

默認(rèn):屏蔽線纜 D–Sub15;

.UHV 版本:Kapton 漆包線,D–Sub15 (PEEK)

16. 控制器規(guī)格

MC–Newton.S 系列

MC–Newton.S 系列

* 更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。

角擺位移臺(tái)一GS35-35.Lab&GS35-55.Lab產(chǎn)品特色

· 超安靜運(yùn)動(dòng)

· 納米級(jí)分辨率

· 斷電位置自保持

· 可與線性臺(tái),旋轉(zhuǎn)臺(tái)等自由堆疊組合

· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器

· 共旋轉(zhuǎn)中心設(shè)計(jì)的2軸角擺臺(tái)疊加

GS35-35.Lab產(chǎn)品尺寸

線性/垂直/升降/旋轉(zhuǎn)/角擺位移臺(tái)Lab系列

角擺位移臺(tái)一GS35-55.Lab產(chǎn)品尺寸

線性/垂直/升降/旋轉(zhuǎn)/角擺位移臺(tái)Lab系列

角擺位移臺(tái)一GS35-35.Lab&GS35-55.Lab產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)

GS35-35.Lab

GS35-55.Lab

1. 特殊版本

.HV,高真空版本;

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

.NM,完*無磁版本

.NM,完*無磁版本

2. 外形尺寸

35 × 35 × 20 mm

35 × 35 × 20 mm

3. 主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV:不銹鋼:250 g;

標(biāo)準(zhǔn)版、.HV、.UHV:不銹鋼:250 g;

.NM:純鈦,陶瓷:90 g

.NM:純鈦,陶瓷:90 g

4. 運(yùn)動(dòng)行程

± 8°

± 8°

5. 搖擺半徑

35 mm(距離臺(tái)面距離)

55 mm(距離臺(tái)面距離)

6. 速度范圍

默認(rèn):0.0005°/s ~ 3°/s;

默認(rèn):0.0005°/s ~ 3°/s;

.HV & .UHV 版本:推薦使用 0.3°/s

.HV & .UHV 版本:推薦使用 0.3°/s

7. *大負(fù)載

1 kg

1 kg

8. 保持力矩

0.2 N·m

0.2 N·m

9. 驅(qū)動(dòng)力矩

0.07 N·m

0.07 N·m

10. 最小步優(yōu)(閉環(huán))

2 μrad

2 μrad

11. 雙向重復(fù)定位精度

± 10 μrad

± 10 μrad

12. 位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

光學(xué)位置傳感器

13. 位置傳感器分辨率

0.05 μrad

0.03 μrad

14. 線纜 & 接頭

默認(rèn):屏蔽線纜 D–Sub15;

默認(rèn):屏蔽線纜 D–Sub15;

.UHV 版本:Kapton 漆包線,D–Sub15 (PEEK)

.UHV 版本:Kapton 漆包線,D–Sub15 (PEEK)

15. 控制器規(guī)格

MC–Newton.S 系列

MC–Newton.S 系列

* 更多產(chǎn)品詳情、圖紙及三維模型,請(qǐng)聯(lián)系我們獲取。

角擺位移臺(tái)一GS65-77.Lab&GS65-97.Lab產(chǎn)品特色

· 超安靜運(yùn)動(dòng)

· 納米級(jí)分辨率

· 斷電位置自保持

· 可與線性臺(tái),旋轉(zhuǎn)臺(tái)等自由堆疊組合

· 內(nèi)置高精度光學(xué)位置傳感器

· 共旋轉(zhuǎn)中心設(shè)計(jì)的2軸角擺臺(tái)疊加

角擺位移臺(tái)一GS65-77.Lab產(chǎn)品尺寸
線性/垂直/升降/旋轉(zhuǎn)/角擺位移臺(tái)Lab系列

角擺位移臺(tái)一GS65-97.Lab產(chǎn)品尺寸

線性/垂直/升降/旋轉(zhuǎn)/角擺位移臺(tái)Lab系列

角擺位移臺(tái)一GS65-77.Lab&GS65-97.Lab產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品參數(shù)

GS65-77.Lab

GS65-97.Lab

1. 特殊版本

.HV,高真空版本;

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

.NM,完*無磁版本

.NM,完*無磁版本

2. 外形尺寸

70 × 70 × 20 mm

70 × 70 × 20 mm

3. 主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金:310 g;

標(biāo)準(zhǔn)版 鋁合金:310 g;

.HV 純鈦,鋼:310 g;

.HV 純鈦,鋼:310 g;

.UHV 純鈦,鋼:430 g;

.UHV 純鈦,鋼:430 g;

.NM 純鈦,陶瓷:290 g

.NM 純鈦,陶瓷:290 g

4. 運(yùn)動(dòng)行程

± 10°

± 10°

5. 搖擺半徑

77 mm(距離臺(tái)面距離)

97 mm(距離臺(tái)面距離)

6. 速度范圍

默認(rèn):0.0005°/s ~ 3°/s;

默認(rèn):0.0005°/s ~ 3°/s;

.HV & .UHV 版本:推薦使用 0.3°/s

.HV & .UHV 版本:推薦使用 0.3°/s

7. *大負(fù)載

2 kg

2 kg

8. 保持力矩

0.4 N·m

0.4 N·m

9. 驅(qū)動(dòng)力矩

0.15 N·m

0.15 N·m

10. 最小步伐

1 μrad

1 μrad

11. 雙向重復(fù)定位精度

± 7.5 μrad

± 7.5 μrad

12. 位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

光學(xué)位置傳感器

13. 位置傳感器分辨率

0.02 μrad

0.02 μrad

14. 線纜 & 接頭

默認(rèn):屏蔽線纜 D–Sub15;

默認(rèn):屏蔽線纜 D–Sub15;

.UHV 版本:Kapton 漆包線,D–Sub15 (PEEK)

.UHV 版本:Kapton 漆包線,D–Sub15 (PEEK)

15. 控制器規(guī)格

MC–Newton.S 系列

MC–Newton.S 系列

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